ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии), нитевидных монокристаллов ("усов"), барьерных слоев (предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др.
Об энциклопедическом словаре
Большой энциклопедический словарь – это уникальная бесплатная онлайн энциклопедия с полнотекстовым поиском и поддержкой морфологии русских слов.
Энциклопедический словарь является некоммерческим проектом, который постоянно развивается. Важную роль в развитии проекта играют наши уважаемые пользователи, которые помогают выявлять ошибки, а также делятся своими замечаниями и предложениями. Вы также можете поддержать проект, оставив комментарий или разместив у себя на сайте или блоге ссылку на энциклопедический словарь.
Ссылки на энциклопедический словарь допускаются без каких-либо ограничений.